| 专利名称: | 陶瓷生片的制造方法和使用该陶瓷生片的电子部件的制造方法 |
| 公开(告)号: | CN100446137 |
| 公开(公告)日: | 2008-12-24 00:00:00 |
| 申请(专利)号: | CN200410079497.7 |
| 申请日: | 2004-08-27 00:00:00 |
| 发明(设计)人: | TDK株式会社 |
| (申请)专利权(人): | 吉田政幸;须藤纯一;青木俊二;渡边源一 |
| 内容: | 摘要 本发明涉及一种所谓的用于制造多层陶瓷电子部件的陶瓷生片。本发 明旨在提高在生片上形成的电极或其它部件的形状的精确性,其位置的精 确性和其厚度的均匀性。在根据本发明的方法中,在透光的基础部件上形 成由包括具有所需电性能的粉末的光敏材料制成的层。在基础部件的背面 上设置具有所需图形的掩膜,并穿过掩膜从基础部件的背面曝光光敏材料。 然后,对曝光后的光敏层进行显影。 |
发布日期:2009-01-09 09:39:00