| 专利名称： | 高精度圆形长棒氮化硅陶瓷制造方法 |
| 公开（告）号： | CN100455541 |
| 公开（公告）日： | 2009-01-28 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN200610117465.0 |
| 申请日： | 2006-10-24 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 上海泛联科技股份有限公司 |
| (申请)专利权（人）： | 赵振威;洪小林;朱荣华;葛忠贤 |
| 内容： | 摘要 本发明提供了一种高精度圆形长棒氮化硅陶瓷制造方法，为氮化硅粉体细化、干燥、机械压制成型，冷等静压后，素坯经加工成几种长棒形状，按几种长棒状氮化硅陶瓷的形状，设计相应形状的石墨容器，采用吊烧工艺，在气压炉内气压烧结，然后采用无心磨床粗磨、细磨、抛光外圆、平面磨床加工端面。本发明的高精度圆形长棒氮化硅陶瓷制品的毛坯采用吊烧工艺后在长度方面弯曲小于长度1.5％，圆度精加工余量小于1mm；高精度圆形长棒氮化硅陶瓷制品采用气压烧结其材料密度达到理论密度的98％以上，表面粗糙度达到Ra 0.2，圆度公差0～0.001mm。 |
发布日期：2009-02-08 09:45:00