| 专利名称： | 一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器 |
| 公开（告）号： | CN201219036 |
| 公开（公告）日： | 2009-04-08 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN200820060198.2 |
| 申请日： | 2008-06-24 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 程传东;胡志强 |
| (申请)专利权（人）： | 程传东;胡志强;罗先照;张 波;孙 鑫 |
| 内容： | 本实用新型涉及一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器，主要包括外壳、压电陶瓷管I、压电陶瓷管II、导电基座和塑胶导线，所述压电陶瓷管I 为控制XY方向的压电陶瓷管，压电陶瓷管I的内外表面分别涂有相互对应的4 个导电层，分成4组；所述压电陶瓷管I通过绝缘套与压电陶瓷管II相连，所述压电陶瓷管II为控制Z方向的压电陶瓷管，压电陶瓷管II的内外表面分别涂有导电层，所述导电基座中央置放磁粒，所述塑胶导线自压电陶瓷管的不同导电层引出。本实用新型的有益效果为：克服了现有产品XY方向与Z方向寄生电容存在而引起的相互耦合，影响对压电陶瓷扫描器的控制精度下降的不足。 |
发布日期：2009-05-31 23:18:00