| 专利名称： | 超低热膨胀透明玻璃陶瓷 |
| 公开（告）号： | CN100482607 |
| 公开（公告）日： | 2009-04-29 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN200410079815.X |
| 申请日： | 2004-09-20 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 株式会社小原 |
| (申请)专利权（人）： | 后藤直雪 |
| 内容： | 本发明提供这样的玻璃陶瓷，该玻璃陶瓷具有能够适应下一代 LSI光刻术和半导体设备部件如掩模、光学反光镜、晶圆平台和光罩平台以及使用这种玻璃陶瓷的各种精密元件的超低热膨胀性能和超平表面。本发明的玻璃陶瓷在0-50℃的温度范围内的平均线性热膨胀系数为0±0.2×10-7/℃，ΔL/L的最大值与最小值之间的差为10×10-7 或更低，并含总量为86.0-89.0质量％的SiO2、Al2O3和P2O5。 |
发布日期：2009-06-09 23:17:00