专利名称: 基于电压与电流复合控制的压电陶瓷驱动电源
公开(告)号: CN100511747
公开(公告)日: 2009-07-08 00:00:00
申请(专利)号: CN200610151114.1
申请日: 2006-12-08 00:00:00
发明(设计)人: 哈尔滨工业大学
(申请)专利权(人): 荣伟彬;孙立宁;邹 翾;徐 敏
内容: 摘要        本发明涉及的是一种基于电压与电流复合控制的压电陶瓷驱动电源。它包括压电陶瓷Z、连接于压电陶瓷两端的高压运算放大器A1和内外环复合控制电路,其中内环通过在压电陶瓷Z上串接反馈电阻R1 构成电流控制环,外环通过运算放大器A2、电阻R2及连接于R2和 A1输出端间的相互并联的可调电阻R4、可调电容C1构成比例积分控制器,实现外环的电压反馈。对压电陶瓷驱动电源进行测试,施加控制电压对压电陶瓷充电一段时间,以固定周期检测压电陶瓷的位移量,测得基于复合控制的压电陶瓷在范围是0-10μm时,最大带宽2.5kHz,最小稳定频率0.1Hz。开环阶跃响最小稳定时间为小于1ms,最小定位误差小于4nm。

发布日期:2009-07-12 23:43:00

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