| 专利名称: | 智能化瓷砖真空离子镀膜设备 |
| 公开(告)号: | CN200810015111.4 |
| 公开(公告)日: | 2009-09-09 00:00:00 |
| 申请(专利)号: | CN200810015111.4 |
| 申请日: | 2008-03-04 00:00:00 |
| 发明(设计)人: | 王桂岳 |
| (申请)专利权(人): | 王桂岳 |
| 内容: | 本实用新型属于真空镀膜技术领域,具体涉及一种智能化瓷砖真空离子镀膜设备。一种智能化瓷砖真空离子镀膜设备,包括与真空抽气系统相连的真空室、转件架式多功能样品台、均布于真空室两侧的电弧金属离子源和PLC可编程集中控制器,其特征是转件架式多功能样品台与真空室绝缘,气体离子清洗源的清洗电极位于转件架式多功能样品台上,并与真空室外气体离子清洗电源相连,电弧金属离子源为30个,离子源与镀件间距为150mm。具有镀膜层的质量和效果好,低损耗、体积小,膜-基结合力强的优点。 |
发布日期:2009-09-18 23:13:00