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| 专利名称： | PVD纳米复合陶瓷涂层螺杆及其制造方法 |
| 公开（告）号： | CN101518935 |
| 公开（公告）日： | 2009-09-02 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN200810162871.8 |
| 申请日： | 2008-12-06 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 舟山市汉邦机械科技有限公司 |
| (申请)专利权（人）： | 陆汉良 |
| 内容： | 本发明提供的PVD复合陶瓷涂层螺杆，螺杆基体[7]上附着依次由粘结层、主耐磨层和润滑层构成的涂层[6]。上述螺杆的制造方法：先在0.1Pa气压条件下沉积50～100纳米厚的过渡金属粘结层；然后在350～400℃、-50V～-200V 偏压、0.2～1Pa气压条件下沉积2～5微米厚的复合陶瓷涂层为主耐磨层，最后在100～150℃、-50V～-150V偏压、0.1～0.5Pa气压条件下沉积1～3微米厚的过渡金属掺杂类金刚石碳膜层为润滑层。与现有技术相比，本发明螺杆硬度高 (Hv硬度达40GPa以上)，耐磨性能好(摩擦系数约为0.1)，具备润滑性能。本发明方法无污染，涂层附着力强。
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发布日期：2009-09-18 22:21:00