专利名称: 金属化陶瓷基板芯片的制造方法
公开(告)号: CN101530011
公开(公告)日: 2009-09-09 00:00:00
申请(专利)号: CN200780039504.2
申请日: 2007-11-29 00:00:00
发明(设计)人: 株式会社德山
(申请)专利权(人): 山本泰幸;山本光一;前田昌克
内容:     本发明提供一种金属化陶瓷基板芯片的制造方法。其中,使原料基板的金属配线图案单元的至少一部分的厚度为 0.1μm~5μm,使用切割轮在通过该部分的那样的切断预定线上形成槽,上述切割轮是沿着圆盘状旋转型轮的圆周部形成V 字形的刀刃而形成的,上述槽使陶瓷基板表面至少产生龟裂,自槽的里侧施加负荷而切断基板,从而在切断(分割)表面形成有由金属膜(6)构成的配线图案的陶瓷基板(5)来制造金属化陶瓷基板芯片(1)时,能够有效地利用母材,而且能够抑制在被金属化部上产生缺陷,从而能以高合格率高效地制造基板芯片。 点击查看大图

发布日期:2009-09-18 23:35:00

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