专利名称: 含贵金属的金属基陶瓷复合靶材的制造方法
公开(告)号: CN101638771
公开(公告)日: 2010-02-03 00:00:00
申请(专利)号: CN200810134631.7
申请日: 2008-07-28 00:00:00
发明(设计)人: 中国钢铁股份有限公司
(申请)专利权(人): 陈荣志;陈淑华;洪胤庭;陈福左;刘正同
内容:     本发明的含贵金属的金属基陶瓷复合靶材的制造方法,其先利用湿式混粉过程,将陶瓷粉体均匀地披覆于磁性金属粉体的表面,并经由干燥过程后,取得陶金复合粉体,再利用干式混粉过程将贵金属粉体与所述陶金粉体均匀混合,最后利用成型和致密化过程将所述陶金复合粉体制成致密的靶材。本发明的制造方法可均匀地混合所述磁性金属粉体、所述陶瓷粉体和所述贵金属粉体,并且可减少靶材制作过程中所述贵金属粉体的浪费,故可改善靶材的质量和降低靶材的制造成本。

发布日期:2010-02-03 01:27:00

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