| 专利名称: | 含贵金属的金属基陶瓷复合靶材的制造方法 |
| 公开(告)号: | CN101638771 |
| 公开(公告)日: | 2010-02-03 00:00:00 |
| 申请(专利)号: | CN200810134631.7 |
| 申请日: | 2008-07-28 00:00:00 |
| 发明(设计)人: | 中国钢铁股份有限公司 |
| (申请)专利权(人): | 陈荣志;陈淑华;洪胤庭;陈福左;刘正同 |
| 内容: | 本发明的含贵金属的金属基陶瓷复合靶材的制造方法,其先利用湿式混粉过程,将陶瓷粉体均匀地披覆于磁性金属粉体的表面,并经由干燥过程后,取得陶金复合粉体,再利用干式混粉过程将贵金属粉体与所述陶金粉体均匀混合,最后利用成型和致密化过程将所述陶金复合粉体制成致密的靶材。本发明的制造方法可均匀地混合所述磁性金属粉体、所述陶瓷粉体和所述贵金属粉体,并且可减少靶材制作过程中所述贵金属粉体的浪费,故可改善靶材的质量和降低靶材的制造成本。 |
发布日期:2010-02-03 01:27:00