| 专利名称： | 氮化硅陶瓷发热体的微波炉烧结制备方法及专用设备 |
| 公开（告）号： | CN101152980 |
| 公开（公告）日： | 2010-04-07 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN200610062988.X |
| 申请日： | 2006-09-30 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 深圳市金科特种材料股份有限公司 |
| (申请)专利权（人）： | 郜长福;张大牛;宋文杰;陈闻杰 |
| 内容： | 一种氮化硅陶瓷发热体的微波炉烧结制备方法及专用设备，它属于电发热体制备工艺及其专用设备领域，其特征在于所述的专用设备包括一个微波炉本体和坩埚和由最外层的纤维保温体和次外层的保温体，辅助加热板和纤维保温球填充层构成的烧结专用保温体；所述的制备方法如下：将陶瓷生坯放入坩埚，然后将装有陶瓷生坯的刚玉坩埚和烧结专用保温体一起整体放入微波烧结装置内进行烧结；烧结流程为：先将微波炉内抽真空，然后充入质量百分比大于99％的N2，并数次反复上述程序；设定升温程序为5℃/min～50℃/min可调，升温至1300℃±50℃，恒温10～60分钟，然后再升温至1600～1750℃，恒温5～60分钟后关闭微波源自然冷却。 |
发布日期：2010-04-07 03:02:00