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| 专利名称： | 一种镍酸镧陶瓷靶的制备方法 |
| 公开（告）号： | CN101712549A |
| 公开（公告）日： | 2010-05-26 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN200810230966.9 |
| 申请日： | 2008-11-20 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 河南大学 |
| (申请)专利权（人）： | 陈红举;张婷;丁玲红;张伟风 |
| 内容： | 本发明公开了一种镍酸镧陶瓷靶的制备方法，该发明首先使用柠檬酸法制得LNO凝胶，再将LNO凝胶干燥，研磨，冷压，预烧脱胶，烧结成型制成LNO陶瓷靶。本发明在制备LNO陶瓷靶的烧结步骤中，采用了在较低温度下(800℃左右)长时间烧结，使LNO陶瓷靶初期成型，然后在高温(950～1100℃)状态下进行短时间的烧结，可以防止LNO陶瓷靶的分解。另外，在高温状态下的短时间的烧结过程中，加入高压高纯氧环境，使LNO的分解反应不利于正向进行，可以大大的降低LNO分解的程度，用脉冲激光沉积(PLD)法制镍酸镧薄膜，效果良好。
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发布日期：2010-05-26 21:18:00