专利名称: 一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的制备方法
公开(告)号: CN105018882B
公开(公告)日: 2018-03-16 15:16:56
申请(专利)号: CN201510446527.1
申请日: 2015-07-28 15:16:45
发明(设计)人: 朱华
(申请)专利权(人): 朱华
内容:   本发明涉及半导体光电材料,具体涉及一种铝掺氧化锌导电薄膜的制备方法,包括以下步骤:以三氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷作为靶材,调节本底真空度为0.5~2×10‑4pa、衬底温度为80~120℃,以氩为溅射源、工作压强为0.4~0.8Pa,靶基距为5~7cm,采用梯度溅射功率喷溅1h,得到铝掺氧化锌导电薄膜。该方法具有工艺步骤简单、易操作的优点,制备的铝掺氧化锌透明导电薄膜,致密度高、附着力强、紫外可见光范围达到400~900nm,光透过率高达90~98%、电阻率可低至1.2×10‑4欧姆·厘米。

发布日期:2018-10-24 15:16:07

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