专利名称: | 一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的制备方法 |
公开(告)号: | CN105018882B |
公开(公告)日: | 2018-03-16 15:16:56 |
申请(专利)号: | CN201510446527.1 |
申请日: | 2015-07-28 15:16:45 |
发明(设计)人: | 朱华 |
(申请)专利权(人): | 朱华 |
内容: | 本发明涉及半导体光电材料,具体涉及一种铝掺氧化锌导电薄膜的制备方法,包括以下步骤:以三氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷作为靶材,调节本底真空度为0.5~2×10‑4pa、衬底温度为80~120℃,以氩为溅射源、工作压强为0.4~0.8Pa,靶基距为5~7cm,采用梯度溅射功率喷溅1h,得到铝掺氧化锌导电薄膜。该方法具有工艺步骤简单、易操作的优点,制备的铝掺氧化锌透明导电薄膜,致密度高、附着力强、紫外可见光范围达到400~900nm,光透过率高达90~98%、电阻率可低至1.2×10‑4欧姆·厘米。 |
发布日期:2018-10-24 15:16:07