| 专利名称： | 陶瓷部件及其制造方法、加热器、载置机构、处理装置 |
| 公开（告）号： | CN101031527 |
| 公开（公告）日： | 2007-09-05 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | 200680000905.2 |
| 申请日： | 2006-08-23 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| (申请)专利权（人）： | 花田良幸 |
| 内容： | 本发明的作为陶瓷加热器而构成的晶片载置台(11)，具有对作为易于成为破坏起点部位的发热体(13)进行供电的供电部(14)以及与支撑部件(12)接合的接合部(16)。而且，构成为使压缩应力产生于这些易于成为破坏起点部位的供电终端部(14)以及/或者接合部(16) 上。 |
发布日期：2007-09-05 11:33:00