专利名称: 固态致动器,尤其是压电陶瓷致动器
公开(告)号: CN101053088
公开(公告)日: 2007-10-10 00:00:00
申请(专利)号: 200580033178.5
申请日: 2005-08-02 00:00:00
发明(设计)人: 西门子公司
(申请)专利权(人): 卡尔·卢比茨;索斯藤·斯坦科普夫
内容:     本发明涉及一种固态致动器(1),尤其是一种压电陶瓷致动器,其具有一基片(2),所述基片上涂覆有至少一个特别为压电陶瓷层的致动器层(3),所述致动器层(3)布置在接触电极(4,5)之间。为避免所述固态致动器发生蠕变行为,将所述致动器层(3)的电阻率定在1·108Ωm至1·1010Ωm 的数量级范围内和/或设置一用于在所述接触电极(4,5)上施加一驱动电压的致动器驱动构件(6),选择的最高驱动电压使得所述固态致动器中的最大机械应力小于矫顽电压。

发布日期:2007-10-10 09:42:00

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