| 专利名称： | 帕尔帖热循环微纳米压印装置 |
| 公开（告）号： | CN1282900 |
| 公开（公告）日： | |
| 申请（专利）号： | CN200410053401.X |
| 申请日： | |
| 发明（设计）人： | 浙江大学 |
| (申请)专利权（人）： | 傅建中;陈子辰;贺 永;张海峰 |
| 内容： | 摘要 本发明公开了一种帕尔帖热循环微纳米压印装置。在工作台上装有真空罩，真空罩上部装有一端伸入真空罩内、另一端在外能作轴向移动的连接块，伸出真空罩外的连接块与真空罩间装有弹簧，连接块上端面与液压活塞端相连，装在真空罩内的上加热板经隔热陶瓷与连接块下端面相连，下加热板经隔热陶瓷 与工作台固连；上、下加热板均为由不锈钢内板、不锈钢外板构成的双层结构、外板内开有网状冷却流道并有流道接口与外部连接，两层间内板内表面嵌有四片对称分布的方形半导体热电致冷器及在一径向线两侧的致冷器间装有温度传感器。采用基于帕尔帖热循环原理的致冷器，加热与冷却的时间缩短，有利于提高生产效率；温度的变化曲线更加平缓，便于精确控制温度和提高成品的质量。 主权项 |
发布日期：2006-11-03 19:10:00