| 专利名称： | 表面上形成微细突起的陶瓷部件及其制造方法 |
| 公开（告）号： | CN1288113 |
| 公开（公告）日： | |
| 申请（专利）号： | CN02103132.0 |
| 申请日： | 2002-01-31 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 东芝陶磁股份有限公司 |
| (申请)专利权（人）： | 河合和秀;乌井骏藏;高桥真人;设乐広明;德岳文夫;市乌雅彦;铃木崇;松山丰和;上本英雄 |
| 内容： | 摘要 本发明提供能够控制并防止气体释放性，对附着堆积于表面上的其他物质具优良固定效果，在薄膜形成装置中使用时，不易发生其他物质粒子剥离的陶瓷部件及其制造方法。本发明的陶瓷部件是：在构成纯度95重量％以上的致密质陶瓷基材的表面或者其附近的结晶粒子表面形成直径比其结晶粒径小的多个突起部分，或者以纯度为95重量％以上的致密质陶瓷为基材，且表面层为含有直径为形成基材的陶瓷的平均粒子粒径的0.5～50 倍，深度方向有大直径部分的微细孔的凹凸构造的表面凹凸化的陶瓷部件。该陶瓷部件通过在酸性蚀刻液中对纯度95重量％以上、超过理论密度 90％的致密质陶瓷基材的表面作侵蚀处理，在基材表面或其附近存在的陶瓷粒子的表面上形成多个突起状部分来制造。 主权项 权利要求书 1、一种表面凹凸化的陶瓷部件，其特征在于，以纯度95重量％以上的致密质陶瓷作为基材，并且表面层形成含有直径为形成基材的陶瓷平均粒子粒径的0.5～50倍，而且在深度方向上有大直径部分的微细孔的凹凸构造。 |
发布日期：2006-12-13 22:08:00