| 专利名称： | 一种锂钛共掺杂氧化镍基陶瓷薄膜及其制备方法 |
| 公开（告）号： | CN1290795 |
| 公开（公告）日： | |
| 申请（专利）号： | CN200510011664.9 |
| 申请日： | 2005-04-29 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 北京科技大学 |
| (申请)专利权（人）： | 张波萍;董 燕;张雅如 |
| 内容： | 摘要 本发明提供了一种锂钛共掺杂氧化镍基陶瓷薄膜及其制备方法，属于氧化物陶瓷薄膜材料技术领域，适用于介电薄膜材料。本发明的 陶瓷薄膜化学式为：LixTiyNi1-x-yO，其中：x为0.05～0.5，y为0.02～ 0.2。采用溶胶-凝胶法制备前驱体溶液，使用匀胶机制备薄膜，其价格低廉，锂钛共掺杂氧化镍基陶瓷薄膜材料是一种新型的无铅电介质薄膜材料，性能稳定。锂钛共掺杂氧化镍陶瓷薄膜材料具有高的介电常数，频率为1000Hz，ε＞100，适合各种高介电常数薄膜器件的要求，在电介质领域，可用于制造薄膜电容器和动态随即存取存储器DRAM。 主权项 权利要求书 1、一种锂钛共掺杂氧化镍基陶瓷薄膜的制备方法，其特征在于：具体制备步骤为： a、分别称量按摩尔比为0.93～0.3、0.05～0.5、0.02～0.2的 (C2H5O2)2Ni·4H2O、Li(C2H3O2)2·2H2O和Ti(O·(CH2)2·CH3)4； b、制备前驱体溶液：首先将(C2H3O2)2Ni·4H2O和Li(C2H3O2)2·2H2O 溶于CH3OCH2CH2OH溶剂中，将溶液加热至100℃～150℃，并不断搅拌，进行2～10小时的脱水反应，将溶液冷却至60℃～90℃后加入Ti(O· (CH2)2·CH3)4，将溶液加热再次加热至100℃～150℃搅拌回流2～10小时，然后用CH3OCH2CH2OH调整溶液浓度，并加入稳定剂冰醋酸1～10 豪升，制得Li-Ti-Ni-O前驱体溶液； c、制备Li-Ti-Ni-O薄膜：用匀胶机进行薄膜制备，基板为铂电极基板[Pt/Ti/SiO2/Si]；匀膜之前，将前驱体溶液通过虑膜片过滤后，用匀胶机将其沉积在基板上，以200～1000转/分运转数3～8钟后，再1000～ 5000转/分运转5～200秒钟，每匀胶一次后进行一次热分解处理，匀胶 1～30次后，将试样置热处理炉中退火，使其结晶化，重复匀胶-热分解 -退火工序以控制膜厚。 |
发布日期：2006-12-23 22:05:00