| 专利名称： | 具有夹持电连接器的衬底支撑 |
| 公开（告）号： | CN1877808 |
| 公开（公告）日： | |
| 申请（专利）号： | 200610099873.8 |
| 申请日： | 2006-06-05 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 应用材料公司 |
| (申请)专利权（人）： | 前原和利;韦斯瓦斯瓦仁·斯瓦瑞马克瑞斯南;和田贤太郎;马克·A·弗罗得;安德则耶·卡祖巴 |
| 内容： | 摘要 一种衬底支撑，包括具有电极的陶瓷盘，该电极通过电极接线端是可充电的。电连接器连接外部电源和电极接线端。电连接器具有一对相对的钳形臂、其尺寸环绕适配电极接线端的槽、和用于承接紧固组件的一对通孔，该紧固组件能紧固围绕电极接线端的相对的钳形臂。 主权项 |
发布日期：2006-12-15 21:15:00