| 专利名称： | 玻璃基板用研磨液组合物 |
| 公开（告）号： | CN1986612 |
| 公开（公告）日： | 2007-06-27 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | 200610169045.7 |
| 申请日： | 2006-12-19 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 花王株式会社 |
| (申请)专利权（人）： | 西本和彦;米田康洋;代田真美 |
| 内容： | 摘要 本发明提供了玻璃基板用研磨液组合物以及使用该研磨液组合物的玻璃基板的制造方法，其中所述玻璃基板用研磨液组合物含有一次粒子的平均粒径为5～50nm的二氧化硅和重均分子量为1000～5000 的丙烯酸/磺酸共聚物，该研磨液组合物的pH为0.5～5。玻璃基板用研磨液组合物适用于例如玻璃硬盘、强化玻璃基板用的铝硅酸盐玻璃以及玻璃陶瓷基板(晶化玻璃基板)、合成石英玻璃基板(光掩模基板)等的制造。 |
发布日期：2007-07-11 16:04:00