| 专利名称： | 在球面衬底上制造金刚石涂层的装置 |
| 公开（告）号： | CN2846442 |
| 公开（公告）日： | |
| 申请（专利）号： | 200520076377.1 |
| 申请日： | 2005-10-14 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 南京航空航天大学 |
| (申请)专利权（人）： | 卢文壮;左敦稳;徐 锋;黎向锋;王 珉 |
| 内容： | 摘要 本实用新型针对目前急需解决了球面衬底的CVD金刚石沉积成形问题，提出了一种在球面衬底上制造金刚石涂层的装置，通过均匀表面温度场，在球面衬底表面均匀制备CVD金刚石涂层，通过在工作台的下方安装一个由特种陶瓷制成的锥形辊，锥形辊带动球面衬底旋转，使得球面衬底表面温度处于稳定状态，通过沉积纳米尺寸颗粒组成的CVD金刚石涂层来降低涂层表面粗糙度，提高涂层韧性。本实用新型保证了球面衬底表面沉积CVD金刚石膜时温度场均匀、稳定，使得CVD金刚石膜的成核和生长能够均匀、稳定地进行，沉积的纳米CVD金刚石涂层的表面粗糙度很低，涂层不需要进一步加工就可以直接使用。 主权项 |
发布日期：2006-12-17 21:06:00