| 专利名称: | 采用无色散相移器的全场光学相干层析成像系统 |
| 公开(告)号: | CN1887219 |
| 公开(公告)日: | |
| 申请(专利)号: | 200610052451.5 |
| 申请日: | 2006-07-13 00:00:00 |
| 发明(设计)人: | 浙江大学 |
| (申请)专利权(人): | 丁志华;杨亚良;吴 凌 |
| 内容: | 摘要 本发明公开了一种采用无色散相移器的全场光学相干层析成像系统。光源发出的光依次经准直透镜、宽带分光棱镜、偏振片、无色散相移器和宽带偏振分光棱镜后被分成两路:一路经显微物镜到参考镜,显微物镜和参考镜装在精密电控平移台上;另一路经另一显微物镜到样品,另一显微物镜装在压电陶瓷驱动器上。在宽带分光棱镜反射从参考镜和样品返回光的一侧,经成像透镜接面阵CCD探测器。无色散相移器设置在宽带分光棱镜与宽带偏振分光棱镜之间,获得8倍于λ/2波片或偏振片旋转角的相移量。光束的起偏与检偏,参考臂和样品臂的光强匹配,由一块偏振片来完成。本发明具有器件少,结构简单,测量时间短的优点。 主权项 |
发布日期:2007-01-09 21:04:00