| 专利名称： | 静电吸附电极、基板处理装置和静电吸附电极的制造方法 |
| 公开（告）号： | CN1897243 |
| 公开（公告）日： | |
| 申请（专利）号： | 200610087905.2 |
| 申请日： | 2006-06-06 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| (申请)专利权（人）： | 林 圣 |
| 内容： | 摘要 本发明提供一种使用聚酰亚胺薄膜等耐热性合成树脂薄膜作为绝缘层的一部分，能够充分确保电极层的电连接的静电吸附电极。将黏合剂(101)涂敷在基体材料(41)上，粘贴合成树脂薄膜(42)和导电性薄膜(43)的叠层体。在安装有供电杆(70)的状态下，通过喷涂装置(100)进行定点喷涂，将导电性材料喷涂在开(42a、43a) 中，形成喷涂部(45)。其次，将用于喷涂的打底剂(102)涂敷在导电性薄膜(43)的表面上后，使用喷涂装置(100)将Al2O3等陶瓷均匀地喷涂在导电性薄膜(43)的表面上，进行绝缘覆盖。 主权项 |
发布日期：2007-01-21 22:16:00