| 专利名称： | 用于切削工具的TiN/AlON纳米多层涂层 |
| 公开（告）号： | CN1923508 |
| 公开（公告）日： | |
| 申请（专利）号： | 200610116288.4 |
| 申请日： | 2006-09-21 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 上海交通大学 |
| (申请)专利权（人）： | 孔 明;李戈扬;戴嘉维;黄碧龙;吴 莹 |
| 内容： | 摘要 本发明涉及的是一种用于切削工具技术领域的用于切削工具的TiN/AlON纳米多层涂层。由TiN层和AlON层交替沉积在硬质合金、陶瓷或金属基体上形成， TiN层的厚度为3～5nm，AlON层厚为0.3～0.8nm，涂层总厚度为2～5μm。本发明的 TiN/AlON纳米多层涂层可采用在氩、氮混合气氛中的双靶反应溅射技术在抛光的金属或陶瓷基体表面交替沉积TiN层和AlON层得到。本发明所得的TiN/AlON 纳米多层涂层不但具有优良的高温抗氧化性，而且具有高的硬度；最高硬度可达 41GPa。本发明作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。 |
发布日期：2007-05-06 09:59:00