| 专利名称： | 处理衬底的方法 |
| 公开（告）号： | CN1938450 |
| 公开（公告）日： | 2007-03-28 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | 200580010029.7 |
| 申请日： | 2005-02-15 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 东京毅力科创株式会社;国际商业机器公司 |
| (申请)专利权（人）： | 中村和仁;考利·瓦吉达;恩里科·莫斯卡;格特·莱乌辛克;芬顿·R·麦克非 |
| 内容： | 摘要 本发明涉及在处理室(10)中的陶瓷衬底加热器(20，600，700)上处理衬底(25，620，720)的方法。所述方法包括：在所述处理室(10) 中的所述陶瓷衬底加热器(20，600，700)上形成保护涂层(730， 790)，并在所述经涂敷的衬底加热器上处理衬底(25，620，720)。所述方法可以包括将待处理的衬底(25，620，720)提供到所述经涂敷的陶瓷衬底加热器上，通过将所述衬底(25，620，720)暴露于处理气体中对所述衬底(25，620，720)进行处理，并将所述经处理的衬底从所述处理室(10)中取出。 |
发布日期：2007-05-06 21:55:00