| 专利名称： | 宏／微双重驱动的大行程高速纳米级精度的平面定位系统 |
| 公开（告）号： | CN1306247 |
| 公开（公告）日： | 2007-03-21 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN200510010286.2 |
| 申请日： | 2005-08-26 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 哈尔滨工业大学 |
| (申请)专利权（人）： | 孙立宁;刘延杰;节德刚;荣伟彬;曲东升 |
| 内容： | 摘要 宏/微双重驱动的大行程高速纳米级精度的平面定位系统，它涉及一种平 面定位系统。本发明的目的是为解决现有高速高精度定位系统在行程、速度/ 加速度和精度各有不足，而又各自独立的问题。本发明的X轴微动平台(19) 与X轴宏动平台(16)之间设有X轴柔性铰链(17)，X轴压电陶瓷(18)设置在X 轴微动平台(19)内，内导向板(28)和外导向板(30)之间固定有缓冲铰链(29)，Y 轴压电陶瓷(24)的一端与Y轴微动平台(23)相连接，两个轴承(34)分别与Y轴 宏/微动平台(8)上的内导向板(28)和外导向板(30)滚动连接。本发明的系统既满 足了厘米级的运动范围和高速、高加速度的要求，又达到了纳米级的定位精度。 工作范围为25mm×25mm，分辨率为10nm，重复定位精度为±20nm，X轴和Y 轴的最大加速度分别为50m/s2和100m/s2。 |
发布日期：2007-06-02 20:10:00