专利名称: 气密端子的制造方法
公开(告)号: CN1303674
公开(公告)日: 2007-03-07 00:00:00
申请(专利)号: CN03802928.6
申请日: 2003-01-22 00:00:00
发明(设计)人: 恩益禧肖特电子零件有限公司
(申请)专利权(人): 福岛大辅;山本英文
内容: 摘要     本发明提供价廉、可靠性高的高真空气密端子(30)。本发明的气密端子(30) 的制造方法是,将成为外框的筒状体(31)的开口部与平板状的玻璃板(32)的外 缘部进行阳极接合,阳极接合的面的宽度为0.04~200mm,表面粗糙度为0.20μm 以下,筒状体(31)由Fe、Ni和Co中的至少1种构成的金属、或含有80%以上 该金属的合金或导电性陶瓷构成,玻璃板(32)含有碱金属离子,阳极接合后的接 合部分的惰性气体透过量为1.0×10-15Pa·m3/s~1.0×10-8Pa·m3/s。

发布日期:2007-06-01 20:57:00

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