| 专利名称： | 一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置 |
| 公开（告）号： | CN1312459 |
| 公开（公告）日： | 2007-04-25 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN200510018927.9 |
| 申请日： | 2005-06-16 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 华中科技大学 |
| (申请)专利权（人）： | 史铁林;白金鹏;谢勇君;刘世元;王海珊 |
| 内容： | 摘要 本发明公开了一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装 置，在调整平台上设置有环境加载装置，其结构为：压电陶瓷可调节式安 装于支架内，支承板固定在支架上；加热板固定在支承板上，支架固定在 真空腔体上，真空腔体上设置有透光片；被测器件位于环境加载装置上。 本发明采用光路转折、聚焦透镜平移使得测量装置结构紧凑，便于调整； 利用环境加载装置对振动、温度、和压力进行精确控制，使得测量装置能 测量不同环境条件下的微机电系统动态特性。测量装置所采用的微视觉、 相移干涉、频闪照明和环境加载可以完成不同环境条件下的微机电系统器 件或圆片的三维高分辨率测量、静动态参数提取。 |
发布日期：2007-06-03 08:48:00