| 专利名称： | 一种离子源阴极、加热电子枪及弧室之间绝缘装置 |
| 公开（告）号： | CN2891269 |
| 公开（公告）日： | 2007-04-18 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | 200620008175.8 |
| 申请日： | 2006-03-17 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| (申请)专利权（人）： | 戴习毛;龙会跃;袁卫华 |
| 内容： | 摘要 本实用新型涉及一种离子注入机的长寿命离子源，属半导体器件制造领域，提出一种离子源阴极、加热电子枪及弧室之间绝缘装置，在一陶瓷绝缘块1上设置有用于弧室间定位的弧室间定位孔4、用于弧室间固定连接的弧室间连接孔5，设置有用于与热屏蔽板定位的热屏蔽板定位孔6，设置有灯丝杆固定孔2、用于左右灯丝杆固定，水平设置一个阴极与灯丝杆间爬电槽8，由所述爬电槽8左右对称位置向下，设置一个两灯丝杆间爬电槽3，在陶瓷绝缘块的两侧面上，沿垂直对称位置及所述阴极与灯丝杆间爬电槽8下方相应位置设置有一个门字形爬电槽，是灯丝与弧室间爬电槽9，结构紧凑，稳定可靠，抗高温耐腐蚀；结构连接操作方便；绝缘及防污染爬电性能好。 |
发布日期：2007-06-08 21:24:00