| 专利名称： | 射频接地装置 |
| 公开（告）号： | CN2904332 |
| 公开（公告）日： | 2007-05-23 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | 200520145434.7 |
| 申请日： | 2005-11-30 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 庆虹科技股份有限公司 |
| (申请)专利权（人）： | 何长松 |
| 内容： | 摘要 本实用新型射频接地装置通过一夹钳夹持一射频接地杆形成面接触而提高连接稳定性，且该夹钳连接一弹性导电片形成接地线路，以避免现有的等离子反应室的底部构件(例如加热器)产生电弧，且射频接地杆因热膨胀而穿破该加热器的陶瓷表面的现象也可加以避免。因此装设有本实用新型射频接地装置的等离子反应室的加热器可延长其使用寿命。该射频接地杆的顶端被固定于一射频网线并向下延伸，该夹钳紧密夹持该射频接地杆底部形成电连接，该弹性导电片则用于连接该夹钳及这些离子反应室的接地基座。 |
发布日期：2007-07-12 08:22:00