| 专利名称： | 扫描隧道显微镜的扫描装置 |
| 公开（告）号： | CN1320349 |
| 公开（公告）日： | 2007-06-06 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN02145211.3 |
| 申请日： | 2002-11-12 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 上海爱建纳米科技发展有限公司 |
| (申请)专利权（人）： | 李民乾;胡 均;华寿亭;张心澄 |
| 内容： | 摘要 一种扫描隧道显微镜的扫描装置，包含的内盒置于金属外罩内构成双层屏蔽。探针的针尖从外壳底板小孔内伸出，探针与外壳构成一体。置于安装平台上的三个调节杆呈现等腰三角形的分布。两手动调节杆为粗调，位于等腰三角形顶角位置上的自动调节杆为精调。当探针针尖与待测样品表面形成隧道电流以后，探针针尖的高度和位置是固定不动的。而待测样品随着待测样品台被压电陶瓷管的驱动进行移动，从而形成探针针尖对着待测样品表面进行扫描。与在先技术相比，本发明结构简单，操作方便，抗干扰能力强，扫描范围较大，最大扫描范围可达6μm，扫描分辩率为高序石墨(HOPG)原子分辩。分辩的精度高达1×10-5μm(0.1)。 |
发布日期：2007-07-12 17:32:00