首页>>国外专利>>CERAMIC MEMBER, CERAMIC HEATER, SUBSTRATE PLACING MECHANISM, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METH
| 专利名称： | CERAMIC MEMBER, CERAMIC HEATER, SUBSTRATE PLACING MECHANISM, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METH |
| 公开（告）号： | |
| 公开（公告）日： | 2007-03-01 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | WO2006JP316452(WO2007023831) |
| 申请日： | 2006-08-23 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | TOKYO ELECTRON LTD (JP)HANADA YOSHIYUKI (JP) |
| (申请)专利权（人）： | HANADA YOSHIYUKI (JP) |
| 内容： |
发布日期：2007-08-24 16:11:00