专利名称: THERMALLY CONDUCTIVE DIELECTRIC BONDING OF SPUTTERING TARGETS USING DIAMOND POWDER FILLER OR THERMAL
公开(告)号:
公开(公告)日: 2007-03-22 00:00:00
申请(专利)号: WO2006US31989(WO2007032855)
申请日: 2006-08-15 00:00:00
发明(设计)人: APPLIED MATERIALS INC (US)YE YAN (US)
(申请)专利权(人): YE YAN (US);WHITE JOHN M (US)
内容:

发布日期:2007-08-27 08:45:00

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