所属类别: |
功能陶瓷 |
项目年度编号: |
0501060187 |
成果中文名称: |
高精度陶瓷容栅位移传感器产业化关键技术开发 |
关键词: |
位移传感器 高精度传感器 陶瓷光栅制造技术 |
研制人: |
赵志强 赵飚 李毅 张大龙 |
研制人单位: |
桂林市晶瑞电子有限责任公司 |
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研制单位通信地址: |
广西壮族自治区桂林市穿山东路10号 |
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成果简介: |
该技术主要应用于高精度长度、角度的测量。主要原理是将付栅栅条由沿X轴方向排列,改变为在X、Y轴方向作交替排列,使相邻栅条沿X轴方向间距为零,同时又使同侧相册条之间的距离增加。既减少了栅条制作的工艺难度,又提高了传感器的测量精度,并将栅条制作在陶瓷、玻璃等无机材料上,提高了传感器的工作可靠性和稳定性。经过两年多的努力,成功解决了在低设备投入、低净化条件下在陶瓷基片上沉积金属的方法与制作精细线条、多层电路用的关键工艺技术和材料。几年来利用该技术开发成功的产品有:①全防水滚动数显卡尺(填补国家空白);②数显水平仪电子组件;③数显测力计;④数显手提秤电子组件;⑤数显卷尺电子组件;⑥数显杠杆表;⑦数显角度尺(填补国家空白);⑧高精度数显卡尺;⑨双指示数显千分表、百分表(填补国家空白)。 |
发布日期:2006-11-21 09:59:00