| 专利名称： | 陶瓷膜制造方法以及陶瓷膜制造装置 |
| 公开（告）号： | CN100524649 |
| 公开（公告）日： | 2009-08-05 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN200610168229.1 |
| 申请日： | 2006-12-26 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 精工爱普生株式会社 |
| (申请)专利权（人）： | 木岛健 |
| 内容： | 本发明提供了一种可低温成膜的陶瓷膜制造方法以及陶瓷膜制造装置。本发明涉及的陶瓷膜制造方法包括：在基体的上方形成材料层的步骤；将含有水蒸气及氧气的气体导入氧化气体制造部 (30)的步骤；以及将氧化气体制造部(30)内的上述气体加热并提供到氧化炉(20)内、使材料层氧化的步骤。 |
发布日期：2009-08-05 05:05:00