专利名称: 陶瓷的制备方法、由此制得的陶瓷及其尤其是作为溅射靶的用途
公开(告)号: CN101535210
公开(公告)日: 2009-09-16 00:00:00
申请(专利)号: CN200780027339.9
申请日: 2007-05-17 00:00:00
发明(设计)人: 加拿大魁北克电力公司;国家科学研究中心
(申请)专利权(人): 居伊·康佩;伊亚德·萨阿德丁;卡里姆·扎吉尼
内容:     本发明提供了由具有较高熔点的粉末形式的无机基体材料制备陶瓷的方法,该方法包括将该无机基体材料粉末与一个第二无机组分进行混合的步骤,该第二无机组分也是粉末形式并作为该无机基体材料的掺杂剂。该掺杂剂由对所述无机基体材料具有掺杂效果的单独一种无机材料、或由至少两种无机材料的混合物组成。所述方法包括在高温下进行的一个烧结步骤。所获得的陶瓷因其高密度而可有利地用作靶元件。由这些陶瓷制得的薄膜和电极具有特别有利的性质。 点击查看大图

发布日期:2009-09-21 22:01:00

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