| 专利名称： | 陶瓷喷涂部件、制备方法和供其使用的磨料介质 |
| 公开（告）号： | CN101691307 |
| 公开（公告）日： | 2010-04-07 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN200910126738.1 |
| 申请日： | 2009-01-22 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 信越化学工业株式会社 |
| (申请)专利权（人）： | 前田孝雄;中野瑞;塚谷敏彦 |
| 内容： | 陶瓷喷涂部件，包括基底和其上的陶瓷喷涂层。层片已从喷涂层的表面被去除，一般是通过喷砂处理去除。该具有改进的耐等离子体性能的陶瓷喷涂部件减轻了晶片的颗粒污染，并当在用于半导体制造等类似情形的卤素等离子体工艺中使用时能够使生产稳定。 |
发布日期：2010-04-07 02:39:00