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| 专利名称： | 一种直径大于300mm的陶瓷真空管钎焊工艺及装置 |
| 公开（告）号： | CN101767236A |
| 公开（公告）日： | 2010-07-07 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN200910247377.6 |
| 申请日： | 2009-12-29 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 上海克林技术开发有限公司 |
| (申请)专利权（人）： | 张红辉;邵任杰;蒋道满 |
| 内容： | 本发明提供了一种直径大于300mm的陶瓷真空管钎焊工艺及装置，其步骤为先对陶瓷管道和钛环进行清洗，随后垂直掉入真空炉中，在真空条件下升温焊接，焊接完毕后冲保护气体出炉，便完成了两个陶瓷真空管的对焊。本发明提供的装置由第一级的机械式旋片泵，第二级的罗茨泵，第三级的油扩散泵构成，各级泵进行串联布置，在装置上还配有向炉中输送高纯惰性气体(如氮气和氩气)的管路。本发明的优点在于提供了一种直径大于300mm的陶瓷真空管钎焊工艺及装置，并且焊接后的陶瓷管道焊缝处真空漏率小于5*10-12Pa.M3/s，在陶瓷管道上无任何裂纹。
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发布日期：2010-07-09 03:14:00