当前位置:
| 专利名称： | 超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法 |
| 公开（告）号： | CN101907757A |
| 公开（公告）日： | 2010-12-08 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN201010224066.0 |
| 申请日： | 2010-07-13 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| (申请)专利权（人）： | 彭忠琦;卢启鹏;马磊 |
| 内容： | 本发明的超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法，涉及精密调节领域，该装置包括光学元件座、光学元件、柔性铰链座、第一压电陶瓷机构、第二压电陶瓷机构、第一柔性铰链和第二柔性铰链，柔性铰链座包括固定板、第一调节动板和第二调节动板。柔性铰链组布置采用两层相互垂直一块料加工成型的叠加方式，并且每层柔性铰链组与压电陶瓷形变方向构成等腰三角形支撑，在压电陶瓷伸缩变形中驱动柔性铰链组实现精密调节，精度达到微米级。本发明应用到超高真空及光谱技术领域中光学元件的精密调节，准确实用，效率高，成本低，便于推广。
 |
发布日期：2010-12-16 14:43:00