| 专利名称： | 基片湿处理过程中化学液加热方法及装置 |
| 公开（告）号： | CN1854635 |
| 公开（公告）日： | |
| 申请（专利）号： | 200510025257.3 |
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| 发明（设计）人： | 倪党生;叶曲波 |
| (申请)专利权（人）： | 倪党生 |
| 内容： | 摘要 本发明是使用无机超薄电热膜制成的一种新型加热装置，尤其适用于半导体硅片湿法清洗过程中化学流体的加热。本新型加热装置采用如下技术方案：包括构成加热容器的由无机耐高温材料制备(比如石英玻璃、陶瓷等)的矩形体、设置在矩形体上的高温电热膜以及设置在高温电热膜上的导电电极。这种新型加热装置的热传导采用高频振荡的方式，通过电热膜分子热运动传热，传热速度快，加热温度高，在获得近千摄氏度高温的时候仍可保证极好的热稳定性。此装置使加热效率获得大幅提高(效率＞95％)，同时保证了产品的稳定性，使用中节约大量能耗。同时本发明并不局限于半导体产业，也可用于其他生产、生活等方方面面的流体加热。 主权项 |
发布日期：2006-11-01 18:42:00