| 专利名称： | 导电复合陶瓷蒸发舟的生产方法 |
| 公开（告）号： | CN1288111 |
| 公开（公告）日： | |
| 申请（专利）号： | CN200510040520.6 |
| 申请日： | 2005-06-15 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 谢一心;邢维明 |
| (申请)专利权（人）： | 谢一心;邢维明;谢腾飞;邢程波 |
| 内容： | 摘要 本发明涉及一种导电复合陶瓷蒸发舟的生产方法，其生产方法如下：先将颗粒为100～200目的原料粉体AlN 8～15％、TiB2 30～40％和BN 50～60％混和；将混合后的粉体干拌后，再和酒精混合并搅拌；将搅拌后的粉料加热以烘干粉料并去除粉料中的酒精；将粉料加入模具中，放入氩气气氛炉中加压、加热，冷却后制得导电复合陶瓷块，将导电复合陶瓷块进行切割和铣槽制得导电复合陶瓷蒸发舟。本发明的优点是制得的导电复合陶瓷蒸发舟密度高，有均匀的电阻，电阻率变化范围可从200～2000根据需要进行调节，使用寿命达到12～15小时，产品合格率达95％以上。 主权项 权利要求书 1、一种导电复合陶瓷蒸发舟的生产方法，包括如下步骤： (1)、将颗粒为100～200目的原料粉体以下列重量百分比混和 AlN： 8～15％， TiB2： 30～40％， BN： 50～60％； (2)、将混合后的粉体干拌15～20分钟，再和酒精按粉料∶酒精＝1∶1.5～2的重量百分比混合并搅拌10～15小时； (3)、将混合搅拌后的粉料在60～70℃加热10～15小时，以烘干粉料并去除粉料中的酒精； (4)、将粉料加入模具中，放入氩气气氛炉中，温度为2100～2200℃，压力为40～ 45MPa，加热4～5小时，冷却后制得导电复合陶瓷块； (5)、将导电复合陶瓷块进行切割和铣槽制得导电复合陶瓷蒸发舟。 |
发布日期：2006-12-13 22:05:00