| 专利名称： | 用于检测粒子束的检测器及其制造方法 |
| 公开（告）号： | CN1310039 |
| 公开（公告）日： | 2007-04-11 00:00:00 |
| 申请（专利）号： | CN03802732.1 |
| 申请日： | 2003-01-23 00:00:00 |
| 发明（设计）人： | 重离子研究有限公司 |
| (申请)专利权（人）： | 埃莱尼·贝尔德曼;维姆·德伯尔 |
| 内容： | 摘要 本发明涉及一种用于检测高强度和高能粒子束(2)的检测器及 其制造方法，该检测器包括一个具有金属涂层(4)的晶体半导体板 (3)，并且其设置在基片(5)上，半导体板(3)是金刚石板(6)， 在金刚石板两面都以金属结构(7、8)覆盖。金属结构(7、8)包 括铝和/或铝合金，并形成若干个电极，设置这些电极以通过基片(5) 上的导体线与各个电势连接，基片(5)是具有中心孔(24)的陶瓷 板(11)，该中心孔被金刚石板(6)盖住。 |
发布日期：2007-06-02 21:31:00